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一體的專業(yè)激光設(shè)備企業(yè)
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詳細(xì)說明
超快激光切割機(jī)NXC-300是專為 8 英寸半導(dǎo)體基片精密加工設(shè)計的高端設(shè)備，集成了定制紅外皮秒激光器、德國 SCANLAB ExcellisCAN14 高速振鏡系統(tǒng)、高精度直線電機(jī)運(yùn)動平臺和 8 英寸晶圓自動上下料系統(tǒng)。設(shè)備采用全封閉式結(jié)構(gòu)設(shè)計，具備優(yōu)異的加工精度、穩(wěn)定性和安全性，可實現(xiàn)石英、硅、玻璃、陶瓷等多種硬脆材料的高精度切割和打孔加工。
光束質(zhì)量M2＜1.2 |
脈寬在250fs～10ps范圍可調(diào) |
平均功率40W |
最大單脈沖能量0.4mJ |
脈沖穩(wěn)定性＜1% RMS(8時) |
功率穩(wěn)定性＜1% RMS(8小時) |
光點穩(wěn)定性＜25μrad/℃ |
配8英寸晶圓自動上下料系統(tǒng) |
運(yùn)動平臺行程220mmx220mm，定位精度≤3μm，重復(fù)精度≤3μm |
X/Y軸運(yùn)動平臺：直線電機(jī)+光柵尺的控制方式，移動速度600mm/s， X/Y軸移動分辨率0.5μm |
可加工材料高度不小于50mm |
地址：天津市武清開發(fā)區(qū)馨凱廣場7號樓1層101
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